北海道のすごい企業！北海道北斗市にある菅製作所はこんな会社。

真空技術、高温技術をコアテクノロジーとし、デバイス開発、材料開発等の研究開発の現場に役に立てる研究開発支援機器や、動力伝達のエキスパートとして補機類駆動用のクラッチシステムを中心とした漁労機等の船舶用機器を、総合的に提供する株式会社菅製作所。1946年に漁船用機器の修理業で創業。1993年より、会社の更なる発展・向上を目指し、真空装置・真空機器の製造を開始。2000年には自社製スパッタ装置の販売を開始し、大学や研究機関を中心に活動の幅を拡げてきた歴史のある北海道のすごい企業、それが菅製作所さんです。

Arイオンをプラズマ放電下でターゲットに衝突させ、衝突により叩き出されたターゲット材料が対向する基板に付着するスパッタリング現象を利用した成膜装置です。
また、関連装置として成膜後の膜質改善用途に、アニール装置を紹介します。